微機電系統（MEMS）探針卡在高階應用中展現出多項顯著優勢。相較於傳統的懸臂式和垂直式探針卡，MEMS探針卡在探針微型化和訊號傳輸方面表現更為出色。這使得MEMS探針卡特別適用於需要高密度和高速測試的先進半導體元件，如AI晶片等。
在AI晶片測試中，MEMS探針卡能夠提供更精確的電性測試，有助於在晶圓切割前有效篩選出瑕疵晶粒，從而降低後續封裝成本。由於AI晶片結構複雜且價值高昂，使用MEMS探針卡進行精確測試變得至關重要。MEMS探針卡的微型化探針設計使其能夠應對更細的接點間距，確保測試的準確性和可靠性。
儘管MEMS探針卡的成本相對較高，但其在高階應用中的優勢使其成為市場上不可或缺的一部分。台灣的探針卡廠商，如旺矽、中華精測和穎崴等，正積極投入MEMS探針卡的研發和生產，以滿足市場對高階晶片測試的需求。這些公司通過技術創新，不斷提升MEMS探針卡的性能和可靠性，從而在全球探針卡市場中佔據一席之地。
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